post

بیضی سنجی (Ellipsometers)

ا می طلبد

 نام دستگاه: Spectroscopic Ellipsometers

نام کمپانی سازنده : HORIBA Jobin Yvon

مدل: SmartSE

بیضی سنجی (Ellipsometry) روشی نوری است که برای مطالعه و بررسی لایه های نازک، ویژگی های نوری (ضریب شکست، ضریب جذب و توابع دی الکتریک) سطوح و فصل مشترک مواد استفاده می شود و می توان با استفاده از آن ضخامت، مورفولوژی، یکنواختی سطح، ریخت‌شناسی (morphology)، کیفیت بلور، ترکیب شیمیایی و رسانایی مواد را ارزیابی کرد. در بیضی سنجی، معمولا شکست نور بررسی می شود و ویژگی هایی مانند ضخامت نمونه، ضریب شکست و ویژگی های دی الکتریک، موجب تغییرات در حالت نور قطبیده می شود. در بیضی سنجی تغییراتی که نور قطبیده پس از بازتاب یا عبور متحمل می شود مورد مطالعه قرار می گیرد که با بررسی تغییرات قطبش نور بازتاب شده از نمونه، می‌توان در مورد لایه‌هایی که ضخامت کم تر ازطول موج نور دارند، اطلاعاتی مانند ترکیب شیمیایی و رسانایی نیز به دست آورد.

دستگاه مدل Smart SE از کمپانی HORIBA Scientific یک دستگاه اسپکتروسکوپی بیضی سنجی همه کاره برای اندازه گیری های سریع و دقیق فیلم های نازک است. این دستگاه قادر به تشخیص ضخامت فیلم های نازک از حدود چند انگستروم تا ۲۰ میکرومتر، ثابت های نوری (n, k)، ویژگی های ساختاری فیلم های نازک (مانند زبری، میزان عبور نوری و ناهمسانگردی لایه های فیلم های نازک، وغیره)، و تمامی ۱۶ عضو ماتریس مولر می باشد.

دستگاه Smart SE توانایی اندازه گیری در محدوده طیفی از ۴۵۰ تا ۱۰۰۰nm را تنها در عرض چند ثانیه داراست و داده های بیضی سنجی با استفاده از نرم افزار DeltaPsi2 مورد تجزیه و تحلیل قرار می گیرند. نرم افزار DeltaPsi 2 قابلیت آنالیز پیشرفته داده های بیضی سنجی را با استفاده از مدرن ترین مدل سازی های بیضی سنجی برای کاربر فراهم می آورد. علاوه بر این رابط کاربری ساده تر و کاربر پسند تری به نام AutoSoft وجود دارد، که به کاربر اجازه می دهد تا به سادگی دستور العمل های از پیش تعریف شده ای را تنها با استفاده از زدن یک دکمه اجرا کند.

دستگاه بیضی سنج Smart SE ابزاری مقرون به صرفه در حوزه فیلم های نازک است که بدون کاستن از ویژگی های آن، دارای کارایی چشمگیر در تحقیقات است. این محصول مجهز به یک سیستم بینایی یکپارچه به منظور موقعیت یابی نقطه ای دقیق، هفت میکرو نقطه خودکار با محدوده اندازه های مختلف تا حد کمتر از چند ده میکرون برای اندازه گیری ویژگی های کوچک، و توانایی اندازه گیری ۱۶ عضو کامل ماتریس مولر فقط در عرض چند ثانیه برای مطالعه نمونه های پیچیده است.

طراحی انعطاف پذیر Smart SE سبب کنترل اتوماتیک استیج نمونه و گونیومتر به منظور اسکن نمونه و یا کسب اطلاعات از زوایای مختلف برخورد به صورت خودکار می شود. همچنین به منظور مطالعات در محل(in-situ) می توان دستگاه Smart SE را بر روی یک اتاقک قرار داد. این محصول ابزاری ایده آل برای هر نوع کاربردی با هر میزان بودجه و برای فعالیت در طیف گسترده ای از زمینه های کاربردی از جمله میکرو الکترونیک، سلول های خورشیدی، صفحات نمایش، پوشش های نوری، راهکار های سطحی و ترکیبات آلی می باشد.

Specifications

Standard Configurations

Spectra range:

۴۵۰nm to 1000nm

Spectra resolution

Better than 3nm

Light source

Combined Halogen and Blue LED

Measurement time

<1sec to 10 sec

Beam size

۷۵µm * 150µm, 100µm * 250µm,

۱۰۰µm * 500µm, 150µm * 150µm,

۲۵۰µm * 250µm, 250µm * 500µm,

۵۰۰µm*500µm

Angle of incidence

۴۵۰ to 900 by step of 50

Sample size

Up to 200mm

Sample alignment

Manual 17mm height adjustement and tilt

Dimensions

۱۰۰cm * 46cm * 23cm(W*H*D)

Performances

Straight-through air accuracy

Ψ=۴۵۰±۰٫۰۵۰ Δ=۰۰±۰٫۲۰

Thickness accuracy on 1000 Å Oxide

۰٫۰۴%

Thickness repeatability on 1000 Å Oxide

±۰٫۰۲%

Options

  • Automated angle of incidence from 450 to 900 by step of 0.010
  • Motorized stage for 200mm and 300mm sample sizes
  • In-situ adjustable flanges for mounting on process chamber
  • Heating and cooling stages
  • Liquid and electrochemical cells
  • Cross hair auto-collimation system
post

پلاسمای جفت شده القائی (ICP-OES)

ا می طلبد

 نام دستگاه: ICP-OES

نام کمپانی سازنده : HORIBA Jobin Yvon

مدل: Ultima Expert

پلاسمای جفت شده القایی (Inductively Coupled Plasma)، از جمله روشهای طیف سنجی نشری (Emission) است که اتم سازی در آن به کمک پلاسمای تولید شده توسط یک گاز بی اثر که عمدتاً آرگون (Ar) است صورت می پذیرد. این روش از جمله روش های آنالیز عنصری (Elemental Analysis) است که برای بیشتر عناصر بجز آرگون (گاز بی اثر) استفاده می شود.

ICP-OES در آنالیز  مواد طبیعی از جمله سنگها، کانی ها، خاک، رسوبات ، آب ، هوا، گیاه و بافتهای حیوانی کاربرد دارد. و بنابراین از آن در ژئوشیمی محض و کاربردی، کانی شناسی، باستان شناسی، کشاورزی، جنگلداری، باغبانی، بوم شناسی شیمیایی، علوم طبیعی، صنایع غذایی، تصفیه و توزیع آب و تولید برق استفاده می شود.

  • دستگاه Ultima Expert کمپانی HORIBA بالاترین عملکرد در بین دستگاه های ICP موجود در بازار را داراست و بطور ویژه برای بدست آوردن دقیق ترین نتایج حتی در چالش برانگیزترین کاربردها طراحی شده است.
  • طراحی و ساخت قطعات اپتیکی با کیفیت و ادغام آن با یک هولوگرافی گریتینگ با چگالی بالا و فاصله کانونی منحصر بفرد به طول یک متر که با سیستم ویژه و منحصر بفرد پلاسمای HORIBA همراه شده، سبب دستیابی Ultima Expert بهه بالاترین رزولوشن موجود در بازار همراه با حساسیت و ثبات خارق العاده آن شده. بعلت ویژگی های منحصر بفرد اینن دستگاه، Ultima Expert توانایی پاسخ گویی به اغلب نیازهای مختلف را داراست.
  • قابلیت مشاهده شعاعی و محیط تمام پلاسمای این دستگاه سبب دستیابی به کمترین محدودیت موجود جهت تشخیص در میان تمام دستگاه های طیف سنج ICP-OES گشته است.
  • با ارائه ویژگی ممتاز Sheath gas پایداری بی نظیری برای محلول هایی که در آن میزان بالایی از مواد جامد حل نشده در آن وجود دارد، بدست آمده است. این میزان تا ۳۰۰% مواد جامد حل نشده است.
  • محدوده طول موج قابل پوشش توسط Ultima Expert از حدود ۱۲۰ تا ۸۰۰nm است که همچنین برای آنالیز هالوژن ها و موادی با طول موج متغییر می توان محدوده Far UV را نیز به عنوان گزینه اضافی به آن افزود.
  • قدرت تفکیک طیفی بی نظیر Ultima Expert سبب به حداقل رساندن تداخل >5pm برای طول موج هایی در محدوده ۱۲۰ تا ۳۲۰۰ نانومتر گشته است.
  • همچنین سیستم دوگانه گریتینگ که بصورت گزینه اختیاری موجود است، سبب افزایش وضوح >6pm برای طول موج های تا حداکثر ۴۵۰ نانومتر گشته است. این موضوع برای عناصری با خط های طیفی غنی مانند: عناصر کمیاب موجودد در پوسته زمین، کاربرد های مرتبط با زمین شناسی و یا فلزات گرانبها کاربرد دارد.
  • ابزار منحصر بفرد HiStab برای دستیابی به ثبات استثنایی در کاربردهای عملی
  • آشکار ساز انحصاری ساخته شده در آزمایشگاه های HORIBA Scientific با نام اختصاری ثبت شده ®HDD باعث رسیدن به اعداد زیر ppb تنها با یک بار آنالیز گشته است.
  • حد محدوده دینامیکی تا ۱۰ مرتبه بزرگنمایی با استفاده از تصویر
  • قابلیت استفاده از پلی کروماتور ۱m یا ۰٫۵m برای آنالیز همزمان
  • دستگاه Ultima Expert کمپانی HORIBA بالاترین عملکرد در بین دستگاه های ICP موجود در بازار را داراست و بطور ویژه برای بدست آوردن دقیق ترین نتایج حتی در چالش برانگیزترین کاربردها طراحی شده است.
  • طراحی و ساخت قطعات اپتیکی با کیفیت و ادغام آن با یک هولوگرافی گریتینگ با چگالی بالا و فاصله کانونی منحصر بفرد به طول یک متر که با سیستم ویژه و منحصر بفرد پلاسمای HORIBA همراه شده، سبب دستیابی Ultima Expert به بالاترین رزولوشن موجود در بازار همراه با حساسیت و ثبات خارق العاده آن شده. بعلت ویژگی های منحصر بفرد این دستگاه، Ultima Expert توانایی پاسخ گویی به اغلب نیازهای مختلف را داراست.
  • قابلیت مشاهده شعاعی و محیط تمام پلاسمای این دستگاه سبب دستیابی به کمترین محدودیت موجود جهت تشخیص در میان تمام دستگاه های طیف سنج ICP-OES گشته است.
  • با ارائه ویژگی ممتاز Sheath gas پایداری بی نظیری برای محلول هایی که در آن میزان بالایی از مواد جامد حل نشده در آن وجود دارد، بدست آمده است. این میزان تا ۳۰% مواد جامد حل نشده است.
  • محدوده طول موج قابل پوشش توسط Ultima Expert از حدود ۱۲۰ تا ۸۰۰nm است که همچنین برای آنالیز هالوژن ها و موادی با طول موج متغییر می توان محدوده Far UV را نیز به عنوان گزینه اضافی به آن افزود.
  • قدرت تفکیک طیفی بی نظیر Ultima Expert سبب به حداقل رساندن تداخل >5pm برای طول موج هایی در محدوده ۱۲۰ تا ۳۲۰ نانومتر گشته است.
  • همچنین سیستم دوگانه گریتینگ که بصورت گزینه اختیاری موجود است، سبب افزایش وضوح >6pm برای طول موج های تا حداکثر ۴۵۰ نانومتر گشته است. این موضوع برای عناصری با خط های طیفی غنی مانند: عناصر کمیاب موجود در پوسته زمین، کاربرد های مرتبط با زمین شناسی و یا فلزات گرانبها کاربرد دارد.
  • ابزار منحصر بفرد HiStab برای دستیابی به ثبات استثنایی در کاربردهای عملی
  • آشکار ساز انحصاری ساخته شده در آزمایشگاه های HORIBA Scientific با نام اختصاری ثبت شده ®HDD باعث رسیدن به اعداد زیر ppb تنها با یک بار آنالیز گشته است.
  • حد محدوده دینامیکی تا ۱۰ مرتبه بزرگنمایی با استفاده از تصویر
  • قابلیت استفاده از پلی کروماتور ۱m یا ۰٫۵m برای آنالیز همزمان