post

بیضی سنجی (Ellipsometers)

ا می طلبد

 نام دستگاه: Spectroscopic Ellipsometers

نام کمپانی سازنده : HORIBA Jobin Yvon

مدل: SmartSE

بیضی سنجی (Ellipsometry) روشی نوری است که برای مطالعه و بررسی لایه های نازک، ویژگی های نوری (ضریب شکست، ضریب جذب و توابع دی الکتریک) سطوح و فصل مشترک مواد استفاده می شود و می توان با استفاده از آن ضخامت، مورفولوژی، یکنواختی سطح، ریخت‌شناسی (morphology)، کیفیت بلور، ترکیب شیمیایی و رسانایی مواد را ارزیابی کرد. در بیضی سنجی، معمولا شکست نور بررسی می شود و ویژگی هایی مانند ضخامت نمونه، ضریب شکست و ویژگی های دی الکتریک، موجب تغییرات در حالت نور قطبیده می شود. در بیضی سنجی تغییراتی که نور قطبیده پس از بازتاب یا عبور متحمل می شود مورد مطالعه قرار می گیرد که با بررسی تغییرات قطبش نور بازتاب شده از نمونه، می‌توان در مورد لایه‌هایی که ضخامت کم تر ازطول موج نور دارند، اطلاعاتی مانند ترکیب شیمیایی و رسانایی نیز به دست آورد.

دستگاه مدل Smart SE از کمپانی HORIBA Scientific یک دستگاه اسپکتروسکوپی بیضی سنجی همه کاره برای اندازه گیری های سریع و دقیق فیلم های نازک است. این دستگاه قادر به تشخیص ضخامت فیلم های نازک از حدود چند انگستروم تا ۲۰ میکرومتر، ثابت های نوری (n, k)، ویژگی های ساختاری فیلم های نازک (مانند زبری، میزان عبور نوری و ناهمسانگردی لایه های فیلم های نازک، وغیره)، و تمامی ۱۶ عضو ماتریس مولر می باشد.

دستگاه Smart SE توانایی اندازه گیری در محدوده طیفی از ۴۵۰ تا ۱۰۰۰nm را تنها در عرض چند ثانیه داراست و داده های بیضی سنجی با استفاده از نرم افزار DeltaPsi2 مورد تجزیه و تحلیل قرار می گیرند. نرم افزار DeltaPsi 2 قابلیت آنالیز پیشرفته داده های بیضی سنجی را با استفاده از مدرن ترین مدل سازی های بیضی سنجی برای کاربر فراهم می آورد. علاوه بر این رابط کاربری ساده تر و کاربر پسند تری به نام AutoSoft وجود دارد، که به کاربر اجازه می دهد تا به سادگی دستور العمل های از پیش تعریف شده ای را تنها با استفاده از زدن یک دکمه اجرا کند.

دستگاه بیضی سنج Smart SE ابزاری مقرون به صرفه در حوزه فیلم های نازک است که بدون کاستن از ویژگی های آن، دارای کارایی چشمگیر در تحقیقات است. این محصول مجهز به یک سیستم بینایی یکپارچه به منظور موقعیت یابی نقطه ای دقیق، هفت میکرو نقطه خودکار با محدوده اندازه های مختلف تا حد کمتر از چند ده میکرون برای اندازه گیری ویژگی های کوچک، و توانایی اندازه گیری ۱۶ عضو کامل ماتریس مولر فقط در عرض چند ثانیه برای مطالعه نمونه های پیچیده است.

طراحی انعطاف پذیر Smart SE سبب کنترل اتوماتیک استیج نمونه و گونیومتر به منظور اسکن نمونه و یا کسب اطلاعات از زوایای مختلف برخورد به صورت خودکار می شود. همچنین به منظور مطالعات در محل(in-situ) می توان دستگاه Smart SE را بر روی یک اتاقک قرار داد. این محصول ابزاری ایده آل برای هر نوع کاربردی با هر میزان بودجه و برای فعالیت در طیف گسترده ای از زمینه های کاربردی از جمله میکرو الکترونیک، سلول های خورشیدی، صفحات نمایش، پوشش های نوری، راهکار های سطحی و ترکیبات آلی می باشد.

Specifications

Standard Configurations

Spectra range:

۴۵۰nm to 1000nm

Spectra resolution

Better than 3nm

Light source

Combined Halogen and Blue LED

Measurement time

<1sec to 10 sec

Beam size

۷۵µm * 150µm, 100µm * 250µm,

۱۰۰µm * 500µm, 150µm * 150µm,

۲۵۰µm * 250µm, 250µm * 500µm,

۵۰۰µm*500µm

Angle of incidence

۴۵۰ to 900 by step of 50

Sample size

Up to 200mm

Sample alignment

Manual 17mm height adjustement and tilt

Dimensions

۱۰۰cm * 46cm * 23cm(W*H*D)

Performances

Straight-through air accuracy

Ψ=۴۵۰±۰٫۰۵۰ Δ=۰۰±۰٫۲۰

Thickness accuracy on 1000 Å Oxide

۰٫۰۴%

Thickness repeatability on 1000 Å Oxide

±۰٫۰۲%

Options

  • Automated angle of incidence from 450 to 900 by step of 0.010
  • Motorized stage for 200mm and 300mm sample sizes
  • In-situ adjustable flanges for mounting on process chamber
  • Heating and cooling stages
  • Liquid and electrochemical cells
  • Cross hair auto-collimation system